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化學(xué)指標(biāo)單位：μg/L
序號 | 水質(zhì)項(xiàng)目 | 一級高純水指標(biāo) | 二級高純水指標(biāo) |
1 | 電阻率（25℃）MΩ·cm | ≥15 | ≥10 |
2 | 電導(dǎo)率，μs/cm | 0.05 | 0.1 |
3 | PH值 | 6.8～7.2 | 6.6～7.4 |
4 | 細(xì)菌總數(shù)，個/mL | ＜3 | ＜9 |
5 | 微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL） | ＜150 | ＜300 |
6 | 二氧化硅 | ＜10 | ＜20 |
7 | 有機(jī)物（以COD計） | ＜0.3 | ＜0.5 |
8 | 鈉 Na | ＜0.5 | ＜2 |
9 | 鐵 Fe | ＜1 | ＜2 |
10 | 銅 Cu | ＜0.5 | ＜1 |
11 | 鈣 Ca | ＜1 | ＜3 |
12 | 鎂 Mg | ＜0.2 | ＜1 |
13 | 鋅 Zn | ＜0.5 | ＜1 |
14 | 錳 Mn | ＜0.2 | ＜0.5 |
說明：①一級高純水合用于大規(guī)模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
?、诙壐呒兯嫌糜谝话汶娐?，分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
③本表按1980年電子產(chǎn)業(yè)部尺度摘錄。
"工業(yè)超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)是什么?"由“中水回用”廠家-瀅源水處理設(shè)備整理發(fā)布，如需轉(zhuǎn)載請注明來源及出處，原文地址：http://irefilm.com/news/318.html
廣東瀅源環(huán)保水處理科技有限公司17年專注水處理設(shè)備,純水設(shè)備,中水回用,回用水設(shè)備,軟化水設(shè)備,EDI超純水設(shè)備等設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司生產(chǎn)產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于電子、電力、電鍍、線路板、光學(xué)鏡片、化工、化妝品、醫(yī)藥、食品飲料、漂染、酒業(yè)、輕工、晶硅半導(dǎo)體等諸多行業(yè)，并已通過IS09001質(zhì)量管理體系認(rèn)證。針對國內(nèi)不同地區(qū)的水質(zhì)特性提供不同的解決方案，并提供近千套水處理設(shè)備系統(tǒng)，保證出水質(zhì)量達(dá)到合格要求！
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